高専生が半導体製造体験 豊橋技科大で実習

　豊橋技術科学大学で６日、高等専門学校生による半導体集積回路の製作体験実習があった。日本の半導体産業復活を目指し、研究開発や人材育成を目的に国に採択された事業の一環。高専生向けの実習は世界でも例がなく、高度細分化する業界で全体を見渡し、企画デザインができる人材育成の拠点化を目指す。
　文部科学省の「次世代Ｘ－ｎｉｘ半導体創生拠点形成事業」として、東京工業大学を中心に環境性に優れた半導体の集積拠点を図る「Ｇｒｅｅｎ－ｎｉＸ研究・人材育成拠点」が採択された。
　今回の人材育成プログラムでは、豊橋技科大の製造施設のクリーンルームで、シリコンウエハーを使って集積回路を製作しながら工程を学んだ。
　発信やカウントの回路などを埋め込むパターニングに挑戦。紫外線を抑えたイエロールームと呼ばれる部屋で行った、続く現像加工や薬剤で不純物を除去する工程を６回繰り返した。
　学内施設は社会人の学び直しに活用されてきたが、今回のプログラムで高専生にも広げた。
　プログラムを担当する澤田和明教授（電子・電気工学系）は「学内施設は１９８０年頃の旧世代の設備だが、半導体製造の基本構造を学ぶには都合がいい。高度分業が進んだ現在の半導体業界では全体を学ぶことができない」と話す。
　さらに「技科大が得意とするセンサー技術やソフトウェアとの融合、技術経経営まで幅広く知見を持つイノベーターの輩出にもつなげたい」と展望を示した。
【加藤広宣】